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氟化物靶材：氟化钆靶材GdF、氟化钇靶材YF、氟化镧靶材LaF、氟化镱靶材YbF、氟化铒靶材ErF、氟化钬靶材HoF、氟化铈靶材CeF、氟化铽靶材TbF、氟化铕靶材EuF、氟化镨靶材PrF、氟化钐SmF、氟化撸靶材LuF、氟化镝靶材DyF、氟化钕靶材NdF、氟化钪靶材ScF、氟化镁靶材MgF、氟化钡靶材BaF、氟化纳靶材NaF、氟化铝靶材AlF、氟化钛靶材TiF。

硅化物靶材：硅化铝靶材AlSi、硅化铬靶材CrSi、硅化镍靶材NiSi、硅化钨靶材WSi、硅化铪靶材HfSi、硅化锆靶材ZrSi、硅化铌靶材NbSi、硅化钒靶材VSi、硅化锰靶材MnSi、硅化钼靶材MoSi、硅化镁靶材MgSi、硅化钛靶材TiSi、硅化铁靶材FeSi、硅化钙靶材CaSi。

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